姚坤
研究方向： 航空发动机光纤传感技术 分布式光纤传感技术 光芯片及信号解调技术
段端志
1.精密超精密加工技术 涉及半导体制造等领域的精密加工技术。 2.精密超精密刀具（金刚石/CBN 砂轮）制造技术 3.高端装备设计与制造 包括多种精密刀具产品的研发。 主要研究高精度数控机床的设计与优化技术。 承担多项国家自然科学基金等科研项目。
梁密生
研究方向： 智能微系统集成制造 激光微纳制造 先进光电器件
董志刚
大连理工大学教授，机械工程学院高性能制造研究所所长。国家杰出青年科学基金获得者，国家“高层次人才特殊支持计划”青年拔尖人才、机械工业科技创新领军人才、辽宁“兴辽英才计划”青年拔尖人才、大连市领军人才、国家技术发明二等奖获得者、科技部十四五重点研发计划“高性能制造技术与重大装备”重点专项总体组副组长、科技部第六次国家技术预测专家组专家。
樊至骐
先进陶瓷激光增材制造理论与技术 硬脆陶瓷材料超精密加工理论与工艺 硬脆材料超精密加工原位监测
任巍
介电铁电薄膜、集成传感器与执行器、铁电MEMS、铁电材料与器件，材料组成、结构与性能关系
牛刚
“后摩尔”(More than Moore) 材料与器件： 1. 功能性氧化物纳米外延薄膜与硅的集成 2. 阻变式内存 3. 二维材料（石墨烯、二硫化钼等）与半导体及多铁纳米结构的混合系统
刘增辉
电子材料与集成器件相关基础和应用研究
焦斌斌
主要从事微机电系统设计与加工、传感器信号处理与多传感器融合研究
尤睿
微纳制造、微纳器件与集成系统、智能感知
刘新宇
III-V族化合物（GaAs、InP、GaN）半导体器件和电路工艺，微波MMIC设计和研制，以及微波功率模块研究。
张晨辉
液体超滑、超滑涂层、水基润滑、工艺润滑油液等方面的研究