焦斌斌 - 微纳制造专家介绍

焦斌斌， 中国科学院微电子所研究院、博士生导师，国际电气电子工程师学会（IEEE）会员，现任该所新技术开发部微系统技术研究室主任。 主持国家重大科技专项01专项等6项国家级科研项目，发表SCI论文30余篇，获授权国家发明专利35项（含美国专利2项）。研发的三轴加速度计产品累计销售超10亿颗，成果获中国仪器仪表学会科技进步一等奖（2022）。主导研发两端窄中间宽型高密度低应力硅通孔（TSV）结构，实现深度超100μm、深宽比超20.3:1、残余应力31.02MPa的技术突破 。设计芯片散热仿生温敏阀体结构，实现自适应微流散热与80%散热能力提升。现任中国光学学会红外与光电子器件分会委员、中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会委员。