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特种MEMS压力传感器、智能集成式薄膜传感器
MEMS传感器及微纳制造理论和应用研究
介电铁电薄膜、集成传感器与执行器研究
航空航天超高温温度传感器及特种压阻式 MEMS 传感器研究
微纳传感与智能系统研究
光纤传感技术与柔性微纳器件研究
微纳制造装备与光电子器件制造研究
微纳机械电子系统、光学测量技术及超精密加工和测量技术研究
微纳机械电子系统与微米纳米技术、传感及检测技术研究
微纳制造与先进传感器技术研究