领域:
电子信息
区域:
北京市
国籍:
中国
性别:
男
经验:
10-20
专家简介
研究领域：MEMS加工技术及其相关器件，特别关注硅基MEMS技术的芯片级原子态器件、MEMS继电器、恶劣环境用MEMS传感器与执行器
详情介绍
从事微纳米技术特别在MEMS工艺与相关器件等方面研究。具体包括：
（1）MEMS器件与关键技术；
（2）硅基MEMS工艺规则设计与加工技术；
先后获得全国博士后基金、教育部博士点基金、测试重点实验室基金、航天支撑基金、973基金等8项基金项目资助。作为主要成员，参与教育部科学技术研究重大培育项目等项目，已发表论文20余篇，被SCI、EI收录10余篇；申请中国发明专利14项，已经授权8项。