扫描电镜

技术参数：

分辨率：SE：1.0nm（15kV），1.6nm（1kV）

加速电压：20V~30kV，连续可调，无需模式更换

电子枪：肖特基热场发射电子枪

电子束流：最大束流不小于20 nA

放大倍数：10~1000000 (底片放大倍率)，根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准。

样品台移动范围：125 mm（X方向），125 mm（Y方向），50 mm（Z方向），-10°-90°（倾斜），360°（旋转）

真空系统：样品室真空度：高真空模式优于 2×10^-4 Pa；电子枪真空度优于 10^-7Pa 数量级。

数字图像记录系统：图像储存分辨率：最大32 k×24 k像素，图像显示：1240×768 像素；图像记录：TIFF, BMP或JPEG。

收费标准：

收费标准（自主上机）：开机费：0元计时.   收费标准：200元/小时.   

送样检测，样品收费标准：200元/样收费标准：开机费：0元计时.   收费标准：100元/小时.   样品收费标准：0元/样

操作指南：

1. 启动设备：打开墙上空气开关，确认UPS电池开关已打开，并按前面面板上的On键至绿灯亮。启动循环水冷机和空气压缩机，确认主机后两个电源开关为On状态。然后按下黄键和绿键，启动SmartSEM软件，并检查真空值，等待真空就绪。
2. 加载样品：戴手套操作，以防污染样品。将样品用导电胶带贴在小丁台上或用导电胶直接粘在样品台上，并确保样品固定无晃动。然后将样品台放入设备中，并固定在基座上。
3. 设置参数：在TV模式下，通过摇杆将样品台移到合适的工作距离。打开并选择合适的加速电压（EHT）和探针电流，导电性差的样品可以选择较低的电压。设置放大倍数并选择工作模式。
4. 观察与保存：对准样品区域，调节亮度（Brightness）和对比度（Contrast），直至图像明暗合适。使用Reduce小窗口调焦，直至达到所需的放大倍数。然后降噪保存图像。