双光子刻蚀工作站

技术参数：

行程 XY >=200 x 200mm，T轴: 可调范围+/-5°，Z轴行程30mm；支持1030/515、800nm三波长激光传输与聚焦，电动激光闭环调节，显微振镜聚焦，同轴显微成像，含明场，暗场成像

收费标准：

收费标准（自主上机）：开机费：0元计时.   收费标准：200元/小时.   

送样检测，样品收费标准：200元/样收费标准：开机费：0元计时.   收费标准：100元/小时.   样品收费标准：0元/样

操作指南：

1. 准备工作：清洁工作站，确保无灰尘和污渍，选择合适的光刻胶并均匀涂覆在样品上。
2. 设置参数：根据实验需求，设置激光器的功率、波长，以及曝光时间等参数。
3. 对准与曝光：将样品置于工作台上，进行对准操作，然后启动激光器进行曝光。
4. 刻蚀处理：曝光后，进行显影和刻蚀处理，去除未曝光的光刻胶，形成所需的图案。
5. 检查与维护：刻蚀完成后，检查样品质量，并进行工作站的清洁和维护。