等离子清洗机

技术参数：

采用PLC控制，触摸屏式人机界面 实时工艺监控，灵活的电极组合适用于不同类型的产品载具实现 Direct 或DownStream 模式等离子工艺 具有自动阻抗匹配的13.56MHz射频电源保证工艺 的重复性专有软件控制系统可记录工艺和生产数据，便于 统计和工艺控制

收费标准：

收费标准（自主上机）：开机费：0元计时.   收费标准：100元/小时.   

送样检测，样品收费标准：200元/样收费标准：开机费：0元计时.   收费标准：100元/小时.   样品收费标准：0元/样

操作指南：

1. 准备工作：确保电源稳定，气体供应充足。打开设备，进入操控面板，检查设备无故障报警。
2. 样品处理：打开清洗机腔门，将待清洗样品妥善放置在样品台上，注意避免堆叠。关闭腔门并确保密封。
3. 参数设置：根据清洗需求，在操控面板上选择适当的工作模式，如常规清洗或深度清洗。设置清洗时间、射频功率等参数。
4. 启动清洗：确认参数无误后，启动设备。设备将自动进行抽真空、通入工作气体、激发等离子等步骤。
5. 清洗完成：清洗结束后，关闭射频电源，释放腔体内气体，打开腔门取出样品。