企业推出了三维微纳加工/纳米3D打印设备 、超快激光微纳加工中心、无掩膜直写光刻设备三大系列及多款光刻胶和激光器产品,其中自主研发的商用纳米级三维激光直写光刻系统,可实现50纳米精度的三维结构加工。凭借高精度、高速度、大幅面和长时稳定性等核心技术优势,实现了科研探索到商业化应用的跨越,有力推动了微纳三维制造在生物医疗、光电通信、新材料、微纳器件、航空航天等领域的规模化工业生产。
三维微纳制造:超快激光微纳加工、无掩膜光刻设备、纳米3D打印
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